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電子廠廢氣來源:
電子廠的廢氣來源主要有兩個:一是半導體設備、電子元器件、電子組件、平板顯示器、整機機殼的表面涂層工藝使用的溶劑型涂料,以及清洗工藝使用的有機脫脂劑、脫水劑、感光成像工藝中的光刻膠稀釋劑、顯影劑、脫膠劑、液態阻焊膜劑、去膜劑等使用有機溶劑的工藝環節。二是光伏行業的切割、粘結、清洗、印刷、燒結等過程,以及電子元件的注塑、噴涂/印刷、烘干、清潔等環節。
電子廠廢氣的處理工藝流程如下:
1、預處理階段:一般采用噴淋塔對廢氣進行預處理,去除粉塵和易溶于水的有害氣體。
2、經過預處理后的廢氣進入酸堿洗滌塔,進行酸堿廢氣的處理。
3、酸堿洗滌后,廢氣進入活性炭吸附器,活性炭具有很大的比表面積和吸附能力,能有效吸附有機物質。廢氣在活性炭床層中通過,有機物質被吸附到活性炭表面,實現凈化效果。
4、活性炭飽和后,需要進行脫附操作,將吸附在活性炭上的有機物質去除。脫附過程一般通過加熱或減壓等方式實現,使吸附的有機物質解吸并轉移到其他介質中,活性炭再次可用于吸附處理。
5、經過脫附的廢氣進入催化燃燒裝置,通過催化劑的作用,在高溫下將有機物質徹底氧化為無害物質,如水和二氧化碳。催化燃燒過程具有高效、徹底分解有機物質的優點。
電子廠廢氣處理設備的優勢:
1、起燃溫度低、節省能源。有機廢氣的催化燃燒具有點火溫度低、能耗低的特點,特別是在某些情況下,催化燃燒設備也可以實現點火溫度加熱后不需要外面的世界。
2、適用范圍廣。催化燃燒設備基本上能夠除去烴類中的所有有機烴和惡臭氣體,另外,吸附催化燃燒法特別適用于處理有機化工、涂料、絕緣材料等工業排放的低濃度、多組分和不回收的廢氣,效果會很好。
3、處理效率高、無二次污染。使用催化燃燒設備法處理有機廢氣的凈化速度基本上都超過95%,尤其是產品不傷害CO2和H2O,因為燃燒溫度較低,這大大減少了氮氧化物的形成,因此不會造成二次污染。
4、工藝流程簡單、設備緊湊、運行可靠。RCO采用RCO工藝凈化有機廢氣,可同時去除多種有機污染物,具有工藝流程簡單、設備緊湊、運行可靠等優點。
5、熱回收效率高。RCO具有運行成本低的優勢,其熱回收效率一般可達95%以上。
6、凈化設備可與烘箱配套使用,凈化后的氣體可直接循環回烘箱加熱設備,達到節能減排的目的。
7、安全可靠。RCO催化燃燒設備有5個安全裝置,防止事故發生。另外,電加熱系統分段工作,自動跟蹤溫度,內置蓄熱裝置,節能省電。
8、采用吸附濃縮+催化燃燒的組合工藝,整個系統實現了凈化和解吸過程的閉式循環,運行過程中不產生二次污染。